在光刻胶这一半导体制造“卡脖子”核心材料领域,以下为中国光刻胶七家核心企业,分别通过自主配方突破、产学研协同及产线验证进展展现出强劲发展潜力,目前的情况是技术成熟度为要。
1. 南大光电
突破性进展:国内唯一通过55nm逻辑芯片量产验证的ArF光刻胶(中芯国际认证);攻克树脂纯化技术(金属杂质<1ppb),良率追平日本JSR。产能布局:宁波基地年产25吨ArF胶,满足10万片晶圆/月需求。战略价值:承担国家02专项,7nm工艺用ArF胶进入客户测试。
2. 彤程新材
技术壁垒:KrF光刻胶市占率国产第一(长江存储、华虹份额超60%);自研光敏剂纯度达99.99%(打破DOW化学垄断)。生态布局:收购北京科华(半导体光刻胶专利148项),整合树脂合成-配方能力。量产节点:去年上海化工区年产1.1万吨光刻胶基地投产。
3. 上海新阳
差异化突围:TSV封装光刻胶通过长电科技验证,替代东京应化产品;开发大马士革工艺用厚膜胶(用于3D NAND存储芯片)。研发储备:与上海交大合作开发EUV胶基础树脂(实验室阶段)。
4. 晶瑞电材
市场卡位:g/i线胶国产化率超30%(士兰微、华润微主供商);半导体级负胶打破十余年进口依赖。技术延伸:KrF胶完成中试(合肥晶圆厂测试中);电子级双氧水纯度达G5级(光刻胶清洗液配套)。
5. 华懋科技
核心能力:光刻胶用PSPI树脂纯度99.999%(彤程新材、南大光电一级供应商);光引发剂专利覆盖KrF/ArF胶体系。战略绑定:参股徐州博康(高端光刻胶单体),形成材料闭环。
6. 强力新材
全球站位:光刻胶光引发剂全球份额25%(三星电子、TOK供应商);开发DUV激光敏感型引发剂,寿命提升至6个月(行业平均3个月)。技术协同:与中科院理化所合作开发电子束光刻胶(5nm以下备用路线)。
7. 雅克科技
第二曲线布局:彩色滤光片光刻胶(CF胶)供货京东方、TCL华星;收购LG化学光刻胶业务,获TFT-LCD胶配方库。半导体拓展:KrF胶完成长江存储认证测试;宜兴基地建设年产5,000吨半导体光刻胶产线。
树脂/单体、配方工艺、应用拓展、基础量产,这七家企业覆盖光刻胶全链条。
RK | 企业 | 备注 |
---|---|---|
1 | 南大光电 | ArF光刻胶国产龙头 |
2 | 彤程新材 | KrF胶全链条自主 |
3 | 上海新阳 | 厚膜光刻胶破局者 |
4 | 晶瑞电材 | g/i线胶国产替代主力 |
5 | 华懋科技 | 光刻胶材料“隐形冠军” |
6 | 强力新材 | 光引发剂国际竞争者 |
7 | 雅克科技 | 面板光刻胶龙头 |
2025.07 DBC/CIW |
(文/本该)
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